The Effects of Postannealing Treatment in Forming Gas on Low-k SiOC(H) Film
Park, SH (Park, S. H.), Kim, HJ (Kim, H. J.), Cho, MH (Cho, M. -H.), Ko, DH (Ko, D. -H.), Sohn, HC (Sohn, H. C.), Hahn, JH (Hahn, J. H.), Lee, DH (Lee, D. -H.), Kwon, YS (Kwon, Y. S.), Park, SY (Park, S. -Y.), Kim, MS (Kim, M. -S.)
Journal of The Electrochemical Society, v.157, no.8, pp.183-186